书目信息 |
| 题名： |
真空镀膜设备
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| 作者： | 张以忱 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 冶金工业出版社 2009.08 |
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| 页数： | 205页 | |
| 开本： | 21cm | |
| 丛书名： | 真空工程技术丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TN305.8 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 真空技术--镀膜--设备 , 真空技术 , 镀膜 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-5024-5014-4 | |
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| 真空镀膜设备/张以忱编著.-北京：冶金工业出版社，2009.08 |
| 205页：图；21cm.-(真空工程技术丛书) |
| ISBN 978-7-5024-5014-4：CNY26.00 |
| 本书主要讲解真空镀膜室结构、镀膜室工件架、真空镀膜机的加热与测温装置、真空镀膜机的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、蒸发源、磁控溅射靶、溅射镀膜的膜厚均匀性等方面的设计与计算。 |
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正题名：真空镀膜设备
索取号：TN305.8/72
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| 5 | 1127653 | 211276536 | 第三借阅区/ [索取号:TN305.8/72] | 在馆 |