书目信息 |
| 题名: |
微机电系统基础
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| 作者: | 刘昶 著 ;黄庆安 译 | |
| 分册: | ||
| 出版信息: | 北京 机械工业出版社 2017.4 |
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| 页数: | 13,397页 | |
| 开本: | 26cm | |
| 丛书名: | ||
| 单 册: | ||
| 中图分类: | TM38 | |
| 科图分类: | ||
| 主题词: | 微电机--教材 | |
| 电子资源: | ||
| ISBN: | 978-7-111-40657-0 | |
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| 微机电系统基础=Foundations of mems/(美)Chang Liu著/黄庆安译.-北京:机械工业出版社,2017.4 |
| 13,397页:图;26cm |
| 国外电子电气经典教材系列.-←并列题名:Foundations of mems |
| ISBN 978-7-111-40657-0:CNY69.00 |
| 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。 |
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正题名:微机电系统基础
索取号:TM38/48
 
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