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书目信息

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题名:
微机电系统基础
    
 
作者: 刘昶 著 ;黄庆安 译
分册:  
出版信息: 北京   机械工业出版社  2017.4
页数: 13,397页
开本: 26cm
丛书名:
单 册:
中图分类: TM38
科图分类:
主题词: 微电机--教材
电子资源:
ISBN: 978-7-111-40657-0
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    微机电系统基础=Foundations of mems/(美)Chang Liu著/黄庆安译.-北京:机械工业出版社,2017.4
    13,397页:图;26cm
    国外电子电气经典教材系列.-←并列题名:Foundations of mems
    
    ISBN 978-7-111-40657-0:CNY69.00
    本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。
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正题名:微机电系统基础     索取号:TM38/48         预约/预借

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1 1036861   210368617   第二样本阅览室/ [索取号:TM38/48] 在馆    
2 1036862   210368626   密集书库-化学系/ [索取号:TM38/48] 在馆    
3 1036863   210368635   第三借阅区/ [索取号:TM38/48] 在馆    
4 1036864   210368644   第三借阅区/ [索取号:TM38/48] 在馆    
5 1036865   210368653   第三借阅区/ [索取号:TM38/48] 在馆    
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