书目信息 |
| 题名： |
微纳米制造技术及应用
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| 作者： | 张德远 编著 | |
| 分册： | ||
| 出版信息： | 北京 科学出版社 2015.10 |
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| 页数： | 252页 | |
| 开本： | 21cm | |
| 丛书名： | 21世纪先进制造技术丛书 | |
| 单 册： | ||
| 中图分类： | TB303 | |
| 科图分类： | ||
| 主题词： | 纳米技术 | |
| 电子资源： | ||
| ISBN： | 978-7-03-045751-6 | |
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| 微纳米制造技术及应用/张德远等编著.-北京：科学出版社，2015.10 |
| 252页：图；21cm.-(21世纪先进制造技术丛书) |
| “十二五”国家重点图书出版规划项目.-使用对象：纳米技术研究者 |
| ISBN 978-7-03-045751-6：CNY98.00 |
| 本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。 |
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正题名：微纳米制造技术及应用
索取号：TB303/301
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